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名稱

雙通道

三通道

四通道

五通道

CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統質量流量控制器

工作溫度：5~45ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度: ±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S

重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路:1~199 SCCM
二路:1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度：5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S
重復精度:±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM 
三路: 1~499 SCCM 
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度:5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.

重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
注意：其他流量范圍的可定制，需額外費用

工作溫度: 5~45 ºC
zui大壓力:3x106 Pa
精度:±1.5% FS
線性:±（0.5-1.5）%F.S.
重復精度: ±0.2%F.S.
流量范圍:
一路: 0~100 SCCM
二路: 1~199 SCCM
三路: 1~199 SCCM
四路: 1~499 SCCM
五-九路可按照客戶要求定制

輸入電源

        AC 220V/50Hz單相

功率

        23W

PLC觸摸屏

·  CVD化學氣相沉積多通道質量流量控制系統各通道的氣路設定和查看都集中在一個7"的觸摸屏上 

· RS485 通訊接口和PC控溫軟件可以連接到電腦上，進行遠程控制

機械壓力表

·  有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接

·   量程:-0.1~0.15 MPa 

針閥

316 不銹鋼

通氣管道

·  內部連接管道為Φ不銹鋼管 

·  外部通氣管道為Φ聚四氟管

混氣罐

Φ80X120mm

截止閥及配件

·316不銹鋼針閥 

 Φ6mm 不銹鋼管

外形尺寸

 600mm(L)x745mm(W)x700mm(H)

質量認證

CE認證

質保期

一年質保期，終身維護